微机电系统

MEMS，即微机电系统，是一种结合机械和电子的半导体技术，最初大量用于汽车安

全气囊，尔后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的

进一步发展，以及应用终端"轻、薄、短、小"的特点，对小体积高性能的MEMS产品

需求增势迅猛，消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。